Silicio kristalų auginimo įrangai reikalingi grafito karštosios{0} zonos komponentai, galintys atlaikyti itin aukštą temperatūrą, didelius šiluminius gradientus ir griežtus užterštumo slenksčius. Ši produktų linija apima pagal užsakymą -apdirbtas didelio grynumo-grafito dalis, pagamintas tiksliai pagal kliento inžinerinius brėžinius ir medžiagų specifikacijas.
Pagrindinės tikslinės programos:Czochralski (CZ) vieno{0}}kristalų traukimo krosnys, fotovoltinės silicio kietinimo sistemos ir puslaidininkinės šiluminės{1} zonos sąrankos.
Gamybos apimtis:Individualizuotas CNC frezavimas / tekinimas, specialus anglies{0}}klasės pasirinkimas, pasirenkamas aukštos{1} temperatūros halogeninis valymas ir specializuotos apsauginės dangos.
Neatidėliotinas veiksmas:Pateikite savo 2D inžinerinį brėžinį, 3D CAD failus ir medžiagų reikalavimus, kad galėtumėte peržiūrėti technines galimybes ir pateikti pasiūlymą.
Hot{0}}zonos komponentų klasifikacija ir funkcinė apimtis
|
Komponento kategorija |
Įprastos karštosios{0} zonos funkcijos ir naudojimo aplinkybės |
|
Tigliai ir susceptoriai |
Sulaikyti ir palaikyti silicio užtaisus vieno{0}}kristalo augimo metu; reikalauja vienodo tankio ir konstrukcijos vientisumo esant didelėms šiluminėms apkrovoms. |
|
Šildytuvai ir srovės tiekimas |
Vienodai atsparus šildymas visoje augimo kameroje; reikalauja kontroliuojamos elektrinės varžos ir mažo pelenų kiekio. |
|
Skydai ir izoliacinės dalys |
Optimizuoti vidinius šiluminius gradientus ir išvengti spinduliuotės šilumos nuostolių; reikalauja mažo šilumos laidumo ir atsparumo šiluminiam smūgiui. |
|
Pagalbiniai stulpai, žiedai ir šviestuvai |
Palaikykite standų mechaninį vidinių karštosios{0} zonos mazgų išlygiavimą esant dideliam vakuumui arba inertinių dujų atmosferoje. |
Techninių parametrų ir medžiagų pasirinkimo vadovas
Labai{0}}grynas grafitas nėra viena keičiama medžiaga. Tinkamos kokybės pasirinkimas priklauso nuo komponento mechaninės funkcijos, darbinės temperatūros ir užterštumo{2}}kontrolės reikalavimų.
Pelenų kiekio ir grynumo ribos:Nurodykite didžiausią leistiną pelenų kiekį ir taikykite atskiras metalines priemaišas (pvz., Fe, Ni, V, Al, Ca), o ne pasikliaukite bendromis grynumo etiketėmis.
Tūrinis tankis ir poringumas:Didesnis tūrinis tankis pagerina mechaninį stiprumą ir sumažina dujų pralaidumą agresyvioje šiluminėje aplinkoje.
Šiluminio plėtimosi koeficientas (CTE):Labai svarbu komponentams, kuriems taikomas greitas terminis ciklas, todėl sumažėja vidinio įtempio kaupimasis ir mikro{0}}įtrūkimų rizika.
Grūdų struktūra:Smulkiagrūdės
Tikslus CNC apdirbimas ir antrinis apdorojimas
Grafitas yra abrazyvinė medžiaga, kuriai reikalingi specialūs įrankiai, kad būtų išvengta briaunų įskilimo, mikro{0}}įtrūkimų ir požeminio paviršiaus pažeidimo.
Apdirbimo galimybės
Sudėtingi kontūrai, gilios kišenės, srieginės skylės, tikslūs grioveliai ir smulkūs{0}}žingsnio grioveliai, sukurti specialiuose anglies{1}}apdirbimo CNC centruose.
Valymo parinktys
Aukštos-temperatūros vakuuminis terminis apdorojimas halogeninėmis dujomis, siekiant sumažinti metalinių teršalų likučius iki itin žemų{1}}slenksčių.
Dengimo sprendimai
Neprivalomos silicio karbido (SiC) arba pirolizinės anglies dangos, naudojamos ten, kur yra nurodyti cheminiai barjerai nuo reaktyvių silicio garų arba lydalo erozijos
Kokybės užtikrinimas ir techninė dokumentacija
Siekiant pašalinti diegimo riziką, gamybos kokybė vertinama pagal išmatuojamus sutartyje nustatytus tikrinimo kriterijus:
Matmenų patikrinimas:100 % arba statistinis mėginių ėmimo patikrinimas, naudojant kalibruotą CMM įrangą pagal patvirtintus 2D/3D CAD duomenis.
Medžiagos atsekamumas:Kontroliuojamų žaliavų partija{0}} tiesiogiai susieta su tiekėjų analizės įrašais.
Galimi dokumentų paketai pagal užklausą:
- Medžiagų savybių duomenų lapai (tūrinis tankis, lenkimo stipris, CTE, elektrinė varža)
- Grynumo / pelenų kiekio analizės sertifikatas (CoA).
- Matmenų patikrinimo ataskaitos
Dažnai užduodami klausimai
K: Koks grafito grynumo lygis yra standartinis puslaidininkių kristalų augimui?
A. Puslaidininkių programoms paprastai reikia, kad pelenų kiekis būtų mažesnis nei 5 ppm arba 2 ppm, atsižvelgiant į konkrečius kliento kristalų grynumo standartus. Visada nustatykite tikslias metalo priemaišų ribas, o ne pasikliaukite bendraisiais terminais.
Kl .: Ar grafito komponentai gali būti gaminami tiesiogiai iš klientų brėžinių?
A: Taip. Visi komponentai yra apdirbami pagal užsakymą-pagal jūsų pateiktus 2D inžinerinius brėžinius arba 3D modelius, griežtai laikantis jūsų nurodytų leistinų nuokrypių ir medžiagų klasių.
Kl.: Ar visoms kristalų augimo grafito dalims reikia apsauginės dangos?
A: Ne. Tokios dangos, kaip SiC, naudojamos tik tada, kai specifinės proceso sąlygos reikalauja cheminio atsparumo reaktyviems garams arba silicio lydalo erozijai. Tinkamumas turi būti įvertintas atsižvelgiant į konkrečią karštosios zonos aplinką.
Kl .: Koks yra tipiškas pritaikytų tikslaus grafito dalių pristatymo laikas?
A: Pristatymo laikas priklauso nuo žaliavos rūšies, apdirbimo sudėtingumo ir nuo to, ar reikalingas antrinis apdorojimas, pvz., valymas ar dengimas. Standartiniai gamybos terminai svyruoja nuo 2 iki 4 savaičių po piešimo{3}}atsijungimo.
Populiarus Žymos: didelio-grynumo grafito komponentai silicio kristalų auginimui, Kinija didelio-grynumo grafito komponentai, skirti silicio kristalų auginimui, gamintojams, tiekėjams